采用基于喷嘴挡板的先导压力控制方式。
可在0.003〜0.4MPa的设定压力范围内实现高精度、高稳定性的精密压力控制。
在0.03〜0.1MPa的微压·低压范围内的控制性能尤其出色。
在具备□42mm的紧凑型尺寸的同时，溢流流量大。
具有压力降小且稳定的流量特性。
与流量大小无关，重复精度为满量程的±0.5％以内，
灵敏度为满量程的0.1％以内。
实现高性能·长寿命·大排气流量。
可在0.03〜0.85Mpa的压力范围内实现精密压力控制。
与流量大小无关，重复精度为满量程的±0.5％以内，灵敏度为满量程的0.2％以内。
采用基于喷嘴挡板的先导压力控制方式。
50mm的小型尺寸且溢流流量大的大排气流量型。
可动部采用低摩擦性密封件，实现了长寿命。
高频率·高响应条件下兼具优异的耐久性和充足的供排气量，适用于平衡器等装置。
