【禁油规格】

实施精密清洗（气体接触部分），在洁净室内进行从组装到包装的一条龙生产。

接触气体部位不使用润滑脂。

【紧凑•大流量】

对边50mm的紧凑尺寸，并实现了0.8㎥/min的大流量。

（1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量）

【带可逆流功能】

具有排放1次侧压力时，2次侧压力向1次侧逆流的功能。

2次侧不残留压力，重视安全性。（不施加背压时）