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集成化供气系统

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详情介绍

【集成单元】

通过紧凑集成标准化部件，构建工艺气体供气线。

实现了可高速置换工艺气体和惰性气体的理想流路。

从设计到装配、检查完成后交付，可减少客户的工时。

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