高真空用气控阀
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【长寿命、高耐久】(Part 7系列)

采用独有结构,实现了长寿命并且提高了易用性的标准型产品。

对成型波纹管的形状进行了优化,耐久性强。

采用铝阀体,减轻了重量。

耐久性超群,实效值达300万次(在本公司规定条件下)。

【设置及配管自由度更高】(Part 7系列)

控制气口可选择4个方向的任意位置。

4面均可安装用于检测动作位置的超小型开关。

【长寿命、低发尘】(Part 3系列)

通过阀一体成型法使流路呈流线形,表面更顺滑。

长寿命成型波纹管。

SUS阀体型。

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